MOCVD有机金属铂前体研究进展

摘要：

金属有机化学气相沉积(MOCVD)作为一种常见的金属材料制备方法,可在远低于金属熔点或分解温度的条件下制备各种金属薄膜、异质结构,这受到了研究者们的广泛青睐.而前驱体的热特性在很大程度上决定了铂薄膜的结构与性质.合适的MOCVD前驱体需要具有良好的挥发性、汽化时的热稳定性、在空气中稳定和易于制备的高产率.本文重点介绍了几种使用较广、性能优异的含铂材料制备的有机金属铂前驱体.

关键词：MOCVD;铂薄膜;前驱体;合成

分类号：TG146.3(金属学与热处理)

资助基金：重庆市科技创新与应用开发重点项目"基于标准级测温用铂基敏感材料及器件研发与产业化"编号:cstc2019jscx-fxydX0024

在线出版日期：2022-01-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：139-141