铝层厚度对铝诱导氢化非晶硅晶化的影响

摘要：

本文依据马普金属研究所对铝诱导晶化机制的理论基础,通过制备不同Al层厚度的Al/a-Si∶H叠层样品的晶化结果来探究铝诱导氢化非晶硅的晶化机制.结果 表明:随着Ai层厚度增加,Al/a-Si:H叠层样品晶化得到的多晶硅晶粒尺寸增加,进一步实验验证了铝诱导非晶硅晶化过程发生在多晶铝晶界中.

关键词：铝诱导晶化、氢化非晶硅、拉曼光谱

分类号：TQ131

在线出版日期：2020-06-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：40-41