四氯化硅的综合处理和应用研究进展

摘要：

本文综述了四氯化硅在制备三氯氢硅、氮化硅陶瓷、白炭黑、多晶硅与多晶硅薄膜以及有机硅材料中的应用及进展.

关键词：四氯化硅、氮化硅、白炭黑、多晶硅、有机硅

分类号：TQ127.2

在线出版日期：2018-02-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：118-121