超声喷雾热解法制备MgO薄膜及性能研究

摘要：

采用自制超声喷雾热解装置制得MgO薄膜,用X射线衍射、扫描电子显微镜、紫外可见光分光光度计等研究了MgO薄膜的晶体及微观结构.结果表明,随着沉积温度的提高,薄膜的结晶性能变好,光透射率随之升高;当沉积温度为650℃时,薄膜的晶粒为52.295nm,在可见光波段透射率达到77％.沉积温度对MgO薄膜的晶体结构、表面形貌以及光学特性有显著影响,是调控MgO薄膜结构和光学特性的有效手段.

关键词：MgO薄膜、超声喷雾热解、温度、致密性

所属期刊栏目：45

分类号：TN304.21;O484;TB383

资助基金：国家自然科学基金;江苏省自然科学基金青年项目;江苏省高等学校自然科学研究项目;江苏省"六大人才高峰"高层次人才项目

在线出版日期：2017-04-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：188-190