不同冷等静压压力对ITO靶材性能影响的研究

摘要：

采用模压和冷等静压结合的复合压制方式,即将前处理后的ITO粉体先经过超声波辅助模压成形,再经低温脱脂后将坯体冷等静压成形.设置了不同的成形压力,在超声波功率为1.5kW的超声波振动辅助下保压4min,得到ITO素坯.研究了不同冷等静压压力对ITO素坯的致密度和形貌的影响.结果表明,在冷等静压压力为250MPa时,得到了形状规则、致密度程度高、成分均匀的ITO素坯.

关键词：模压、冷等静压、超声波、ITO素坯

所属期刊栏目：43

分类号：TG146.21;TQ323.5;TQ177

资助基金：国家自然科学基金;新国家基金;云南省创新团队项目;云南省自然科学基金

在线出版日期：2015-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：117-119