沉积压力对Parylene C膜性能的影响

摘要：

采用X射线衍射(XRD),MOCON透湿仪等研究了不同沉积压力下制备ParyleneC膜的结晶度、水蒸汽透过性、拉伸强度、雾度、透明度随沉积压力的变化规律.结果表明,随着沉积室压力升高,Parylee C膜相对结晶度、透湿性能、拉伸强度、透明度下降,雾度增大.

关键词：Parylen C、沉积压力、结晶度

所属期刊栏目：35

分类号：O6(化学)

在线出版日期：2008-01-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：47-48