晶体硅切割废料回收的研究现状

摘要：

晶体硅棒在加工成硅片的切割过程中产生了大量的切割废料.本文回顾了废料回收主要局限于回收聚乙二醇和碳化硅的现状,然而废料中的硅具有更大的回收价值.介绍了目前硅粉回收技术中物理方法、化学方法和间接回收的研究进展,重点阐述了物理沉降、重液分离、泡沫浮选、电泳分离、电选分离、高温处理等物理方法和利用碳化硅与硅化学稳定性的差异进行的化学分离的研究现状,评述和比较了各种方法的特点和优缺点.指出在现有的回收技术中要实现规模回收硅粉还存在较大的困难,需要通过深入广泛的研究,提高硅粉的回收率和纯度,降低成本,改善工作环境.

关键词：切割废料、晶体硅、碳化硅、回收

所属期刊栏目：32

分类号：O645.4(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：西安市科技计划项目CX1250

在线出版日期：2013-06-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：925-929