振动时效和热时效对原生多晶硅棒应力消除研究

摘要：

在还原炉内硅芯既是硅沉积的载体,也是还原炉的热源[1-2].随着多晶硅生产工艺升级以及生产规模的扩大,使用线切割机切割的方硅芯[3-4]已逐步替代了区熔法拉制的圆硅芯[5].本文对使用原生多晶硅棒切割方硅芯的工艺可行性进行了讨论,重点讨论了热时效和振动时效对原生多晶硅棒应力释放的处理效果.

关键词：振动时效、热时效、线切割、残余应力、多晶硅

所属期刊栏目：43

分类号：TQ127.2

在线出版日期：2023-05-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：98-100