多晶硅生产工艺中氯化氢的回收利用

摘要：

通过将多晶硅还原工序副产物氯化氢回收后通入氢化氯化工序FBR反应器(流化床反应器)中与四氯化硅、金属硅粉、氢气在催化剂作用下进行气固反应,实现三氯氢硅的增产、降低四氯化硅的消耗量、氢元素和氯元素的循环利用等目的.

关键词：氢化氯化、氯氢化、氯化氢、循环利用

所属期刊栏目：43

分类号：TQ127.2

在线出版日期：2023-05-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：13-15