对三氟化氮几种制备技术和纯化技术的探讨分析

摘要：

三氟化氮是微电子产业中使用的特种气体,是电子刻蚀气主要产品,主要用于生产半导体芯片、液晶平板显示器及光伏电池等.本文介绍了三氟化氮气体的特性,对其几种制备技术、纯化、精馏技术进行了分析和探讨.

关键词：三氟化氮、氟气直接反应、熔盐电解、低温精馏、化学吸收、化学转化

所属期刊栏目：43

分类号：TQ126

在线出版日期：2023-03-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：156-158