还原炉倒棒原因及改进措施研究

摘要：

还原炉作为生产多晶硅的关键设备,生产多晶硅过程中常常出现倒棒现象,对还原炉产生严重损坏,重点针对硅棒沉积前期、中期、后期三个阶段倒棒的危害、原因进行分析,从还原炉喷嘴分布和大小、电极结构、石墨卡头结构、硅芯尺寸等方面进行改进,有利于降低还原炉硅棒倒棒率,提高生产效率,降低对还原炉设备的损坏.

关键词：还原炉;沉积;倒棒

所属期刊栏目：42

分类号：TQ127

在线出版日期：2022-03-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：47-49