论高纯硅烷气体灌装标准及工程设计与应用

摘要：

本文简要介绍了高纯硅烷灌装在国内发展的历程,国内工程设计的标准、规范现行情况,重点介绍了在高纯硅烷灌装工程设计中的关键设备、管道材料,密封面的选型以及灌装系统的真空置换、压力检漏、气体排放等方面的设计经验和应用注意事项;详细介绍了目前高纯硅烷灌装的在线分析、自动化水平和灌装区设施布置的原则.

关键词：高纯硅烷、电子特气、灌装

所属期刊栏目：38

分类号：TS206.5(食品工业)

在线出版日期：2018-06-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：5-8,10