改良西门子法多晶硅产品的质量控制探讨

摘要：

随着太阳能光伏产业的快速发展,各领域研究者对大规模生产高纯度多晶硅提出了更高的要求,竞争趋于白热化状态.本次研究以改良西门子多晶硅生产流程为视角,综合分析生产多晶硅产品的影响工序及质量控制方法,以期为生产高质量多晶硅产品提供重要参考.

关键词：改良西门子法、多晶硅、质量控制、影响因素

所属期刊栏目：36

分类号：TN304.12(半导体技术)

在线出版日期：2016-12-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：18-19