气相二氧化硅产品质量改善

摘要：

多晶硅副产物四氯化硅废液中金属离子含量极高，造成生产出的二氧化硅产品金属氧化物含量高，产品质量不合格。本文讨论了新增四氯化硅提纯装置对改善气相二氧化硅产品品质的重要性。

关键词：气相二氧化硅、质量、改善

所属期刊栏目：36

分类号：D92;X83

在线出版日期：2016-07-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：24-24,34