氮中硅烷标准气体研制

摘要：

@@ 1前言
氮中硅烷标准气体是为电子工业、涂膜玻璃和金属镀膜等部门服务的重要特种气体之一.我们按照GB 5274-85<气体分析校准用混合气体的制备称量法>技术要求,采用4升铝合金气瓶包装,研制了氮中硅烷气体标准物质,其浓度范围为2.0×10-2～20×10-2mol/mol.

机标关键词：硅烷、气体标准物质、气体的制备、铝合金气瓶、涂膜玻璃、特种气体、气体分析、浓度范围、金属镀膜、技术要求、电子工业、标准气体、称量法、校准、服务、包装

分类号：TQ2(基本有机化学工业)

在线出版日期：2005-06-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：31-35