微透镜阵列的慢刀伺服加工表面粗糙度预测模型

摘要：

建立了超精密加工微透镜阵列的表面形貌预测模型.基于切削参数、刀具几何参数、微透镜阵列的几何结构,分析了加工的轨迹规划;模型中考虑了刀具与工件之间三维方向相对振动的影响,仿真出加工的表面形貌和粗糙度.通过仿真模型的计算,分析了切削参数、透镜几何参数对微透镜阵列表面形貌及粗糙度的影响.

关键词：微透镜阵列、慢伺服加工、轨迹生成、振动、表面预测

所属期刊栏目：25

分类号：TH161.1

资助基金：国家自然科学基金面上项目;广东省自然科学基金;广东省应用型科技研发项目;广东省科技计划项目

在线出版日期：2020-09-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：83-87