单视角SEM图像中操控工具的三维精确定位

摘要：

在基于扫描电子显微镜(SEM)的纳米操作系统中,针对获取多视角图像比较困难,而单视角图像缺乏三维信息的问题.为了研究如何从单视角SEM图像中快速的实现操作工具的三维精确定位,采用基于梯度方向高斯曲线拟合亚像素的定位方法来实现水平坐标信息的精确定位,和基于图像相似度的原理来精确获取操控工具的垂直坐标信息.从单视角SEM图像中获取的实验数据表明,水平坐标信息已达到了亚像素级别的精确定位要求,而垂直坐标信息也可以在小范围移动中进行精确定位.

关键词：纳米操作、三维定位、扫描电子显微镜图像、图像相似度、亚像素边缘检测

所属期刊栏目：19

分类号：TP249(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金青年基金51105117;黑龙江省自然科学基金QC2014C054;黑龙江省高校青年学术骨干支持计划项目1254G023;黑龙江省博士后科研启动基金LBH-Q13094

在线出版日期：2015-03-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：17-21