期刊专题

10.3969/j.issn.1007-2683.2014.04.014

MgAl/PbPc/Cu有机薄膜二极管的制备与气敏特性分析

引用
选用酞菁铅作为有机半导体气敏材料,用真空热蒸镀、磁控溅射等镀膜方法制备器件,所制备薄膜二极管的结构为MgAl/PbPc/Cu,使用Keithley 4200半导体测试仪与气敏测量系统分析器件肖特基二极管的气敏特性,通过对电流-电压特性的实测数据进行深入的理论分析,比较出器件对不同浓度NO2气体的敏感程度.经过测试结果可知:当器件置于10-5的NO2气体74 min后,正向电流减小65倍,对应的MgAl/PbPc肖特基势垒高度约上升了20 meV.同时由于被吸附NO2气体的PbPc薄膜少数载流子电子数目的增加,导致器件的反向电流增加4倍.

酞菁铅、薄膜二极管、气敏特性、NO2

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TN321(半导体技术)

黑龙江省教育厅科学技术研究项目12511120

2014-09-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

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哈尔滨理工大学学报

1007-2683

23-1404/N

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2014,19(4)

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