不同衬底温度对ZnO薄膜结构和光学性质的影响

摘要：

利用磁控溅射在玻璃基片上制备了不同衬底温度下的ZnO薄膜,借助X射线衍射仪(XRD)、吸收光谱、光致发光谱(PL)等手段研究了衬底温度对ZnO薄膜的微结构、光致发光性能的影响.结果表明:所有样品均呈现ZnO六角纤锌矿结构且具有高度c轴择优取向;ZnO薄膜在可见区的吸收系数很小,在紫外区有很高的吸收系数;室温下的荧光光谱显示薄膜具有较强的紫光发射.

关键词：ZnO薄膜、衬底温度、光致发光谱

所属期刊栏目：19

分类号：TN304(半导体技术)

资助基金：牡丹江师范学院科学技术研究项目QC200904;黑龙江省教育厅科学技术研究项目12521577

在线出版日期：2014-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：108-111