SnO2气敏元件敏感性能的研究

摘要：

为了探讨具有优良性能的SnO2气敏元件的研制方法,依据半导体晶界气敏理论,以SnO2为基体材料,采用烧结型工艺和溶胶-凝胶方法制备出了气敏器件,并对该元件的气敏特性进行了测试.结果表明,采用溶胶-凝胶方法制备的气敏元件具有较高的灵敏度和低电阻等特点,对氢气响应时间可以达到5s.

关键词：气体传感器、灵敏度、二氧化锡、溶胶-凝胶法

所属期刊栏目：10

分类号：TN304.92(半导体技术)

在线出版日期：2005-10-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：19-21