TiN薄膜厚度对耐磨性影响的研究

摘要：

利用空心阴极离子镀膜机在碳钢上制备TiN薄膜,采用销-盘式磨损试验机,在润滑条件下,研究不同厚度TiN薄膜的耐磨性.结果表明:TiN薄膜厚度低于1μm时薄膜易碎,高于2μm时耐磨性明显提高.

关键词：TiN薄膜、薄膜厚度、耐磨性、离子镀

所属期刊栏目：8

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

在线出版日期：2003-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：114-116