钛酸锶钡(BST)薄膜SOL-GEL制备方法研究

摘要：

利用碳酸盐代替部分醇盐,探讨了采用So1-Gel技术制备Ba1-xSrxTiO3(BST)铁电薄膜的可行性.以醋酸钡[Ba(CH3COO)2]、碳酸锶[SrCO3]和钛酸四丁酯[Ti(OC4H9)4]作原料,运用一般的So1-Gel工艺制备BST铁电薄膜,通过XRD分析物质结构,用SEM测定表面形貌,XPS及EDAX测定薄膜的组成.结果表明:采用碳酸锶原料和其他醇盐一起来制备BST铁电薄膜的方法是可行的.

关键词：BST薄膜、溶胶-凝胶法、铁电薄膜

所属期刊栏目：7

分类号：TM221;O484(电工材料)

资助基金：国家自然科学基金50132020;国家重点基础研究发展计划973计划

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：66-67