铁电薄膜材料及集成铁电器件的相关问题

摘要：

铁电薄膜材料及集成铁电器件自20世纪90年代以来一直受到人们的关注.就目前该领域研究中的几个基础问题,如生长动力学、特性退变、并质结界面以及如何进一步发展铁电薄膜和集成铁电器件等提出了见解.

关键词：铁电薄膜、集成铁电学、集成铁电器件、铁电材料

所属期刊栏目：7

分类号：TM221(电工材料)

资助基金：国家自然科学基金50132020;国家重点基础研究发展计划973计划

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：57-59