BaTiO3薄膜的Sol-Gel制备工艺及性能

摘要：

利用溶胶-凝胶法(Sol-Gel)在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备了BaTiO3薄膜,研究了不同退火条件下BaTiO3薄膜的晶相结构及表面形貌,测试了BaTiO3薄膜的电学性能.发现经900℃、120min退火处理的BaTiO3薄膜的介电-温度(εr-T)关系具有明显的弥散相变特性.

关键词：溶胶-凝胶法、BaTiO3薄膜、弥散相变

所属期刊栏目：7

分类号：TM22;O484(电工材料)

资助基金：广东省广州市教委科研项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：55-56,59