二级减压气体流量精确控制方法

摘要：

对气体流量进行精确控制,仅采用流量控制阀控制时,流量的精度、稳定性很难保证.本文通过对气体流量方程进行理论分析,认为只有对节流阀两端压力差进行精确控制,才能保证流量控制精度,并介绍了精确控制的主要方法-二级减压控制法.

关键词：气体、二级减压、流量精确控制

所属期刊栏目：21

分类号：TB71+1(真空技术)

在线出版日期：2004-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：60-61