基于形态滤波和分水岭算法的硅片缺陷提取

摘要：

针对硅片表面缺陷的特点,对其缺陷的提取技术进行了研究,采用了多结构元素的广义形态闭-开和形态开-闭滤波器,结合改进分水岭算法进行缺陷提取.滤波器对输入图像及滤波后图像的梯度图像进行平滑,实现消除噪声、简化图像、保持细节的作用.为了克服分水岭的过度分割问题,提出了改进的分水岭算法,利用区域强度准则和边界强度准则对过分割区域进行合并,很好的解决了过分割问题.实验表明,该方法可以提取精确且封闭的缺陷边缘轮廓,为进一步的缺陷特征量的提取与选择奠定了基础.

关键词：图像处理、缺陷检测、形态滤波、分水岭、过分割

所属期刊栏目：38

分类号：TP751.1(遥感技术)

在线出版日期：2010-03-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：44-48