磨料对计算机硬盘NiP基板CMP质量的影响

摘要：

磁盘表面质量直接影响了硬盘的磁存储密度,表面须达到优异的表面光滑度、没有表面缺陷.本文通过对镍磷基板的化学性质分析,讨论了其CMP机理,分析了浆料中的磨料在硬盘基板CMP中的重要性,指出浆料中的磨料不仅起到了机械研磨的作用,同时也充当了微型搅拌器的作用;通过实验分析了碱性浆料下磨料的浓度和粒径对镍磷基板CMP去除速率与表面粗糙度的影响;选用小粒径、低硬度的二氧化硅水溶胶磨料实现了较高的去除速率和较低的表面粗糙度.

关键词：硬盘基板、CMP、磨料、粗糙度、去除速率

所属期刊栏目：38

分类号：TN305.2(半导体技术)

资助基金：高校博士点基金20050080007;国家自然科学安全联合基金10676008

在线出版日期：2009-12-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：81-85