利用飞秒激光双光子聚合法制作达曼光栅

摘要：

使用中心波长为800nm的飞秒激光振荡器,通过研究双光子聚合工艺,得出降低加工功率、曝光时间以及提高加工速度,有利于空间分辨率的提高.在上述研究结果的基础上制作了一个1×7点阵的达曼光栅,制作结果表明双光子聚合技术在制作微光学元件方面有着非常好的应用前景.

关键词：飞秒激光、双光子聚合、曝光时间、激光能量、加工速度、达曼光栅

所属期刊栏目：37

分类号：TN24(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：55-58