氧对多晶硅太阳电池磷铝吸杂效应的影响

摘要：

对不同氧含量的太阳电池用多晶硅片进行了磷扩散吸杂,铝吸杂及磷铝联合吸杂的研究,用准稳态光电导衰减法 (QSSPCD) 和太阳电池效率测试系统测试了吸杂前后多晶硅片的少子寿命和Ⅰ-Ⅴ曲线.发现3种吸杂方式对于多晶硅片的少子寿命和电池效率都有提高,而磷铝联合吸杂的效果最佳;实验发现[Oi]＜10ppma的低氧样品有利于促进吸杂.

关键词：多晶硅、吸杂、间隙氧含量、少子寿命、太阳电池

所属期刊栏目：37

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2008-06-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：66-69