ZnO薄膜制备及其有机蒸汽敏感特性分析

摘要：

采用直流磁控溅射法进行ZnO薄膜的制备,探讨了O2/Ar对薄膜方块电阻,退火对薄膜结构的影响.在对不同退火温度的ZnO薄膜的气敏特性进行测试后表明:较低的退火温度有利于提高器件气敏特性,其中经600℃退火的ZnO薄膜的灵敏度最高,其最佳工作温度为350℃.实验制备的ZnO薄膜对丙酮、汽油等有机蒸汽都有较高的敏感性和较短的响应-恢复时间,呈现对有机蒸汽敏感的广谱性.

关键词：反应溅射、ZnO薄膜、退火温度、有机蒸汽敏感特性、选择性

所属期刊栏目：35

分类号：TP212.2(自动化技术及设备)

在线出版日期：2006-11-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：23-27