单层薄膜的五次多项式椭偏方程的数值分析

摘要：

采用椭偏法测试的单层均匀透射簿膜的介电常数满足一个五阶多项式方程,来求解薄膜的折射率和厚度,并且进行了详细的计算和讨论.椭偏仪的测量精度除了与它本身的结构参数以及读数精度有关外,还与被测系统本身有关,精度还取决于衬底的折射率n2,的区域及入射角.采用此方法编程可以既快又精确地计算出薄膜的折射率和厚度,取得了令人满意的结果.

关键词：薄膜、折射率、椭偏方程、数值分析

所属期刊栏目：29

分类号：O484.41(固体物理学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：86-91