三维微电子机械系统结构分析与设计

摘要：

介绍了作为光交叉连接设备(OXC)的三维微电子机械系统(MEMS)总体结构以及微反射镜角度偏转的物理原理,然后着重讨论了基于三维MEMS的物理结构参数设计和驱动电压参数设计.

关键词：MEMS、OXC、驱动电压、偏转角度

分类号：TN929.11

在线出版日期：2006-07-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：27-30