三维微机电系统中微反射镜的转动分析

摘要：

我们首先介绍了三维微机电系统(MEMS)作为光交叉连接设备(OXC)的总体结构以及微反射镜角度偏转的物理原理.然后根据应用在三维MEMS的电压和微反射镜偏转角度的控制关系,讨论了基于三维微机电系统(MEMS)的多端口光交换设备的一些特性.

关键词：微机电系统、应用电压、偏转角度、光交叉连接

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2006-07-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：29-32