X-射线光电子能谱仪样品制备污染情况研究

摘要：

针对在XPS样品制备过程中可能遇到的污染问题,通过XPS测定表面元素分布情况,研究了几种潜在污染源表面的化学组成,及其在特定条件下的污染转移对样品测试数据的影响.实验结果表明,手指、手套对样品的污染会引入C、Na、Si等元素,一次性培养皿对样品的污染会引入Zn元素.污染源对样品的定性、定量分析均造成严重干扰.深入理解制样要求,进行正确规范的操作可有效杜绝污染对测试结果的影响.

关键词：XPS、样品制备、污染、定量分析、定性分析

所属期刊栏目：47

分类号：O632;G312(高分子化学（高聚物）)

资助基金：江苏省自然科学基金;江苏省高等学校自然科学研究面上项目;南京邮电大学校级科研项目

在线出版日期：2022-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：65-70