MEMS多晶硅纳米膜压力传感器过载能力设计

摘要：

针对MEMS压力传感器感压膜片受较大压力易发生断裂而导致传感器性能失效问题,提出了MEMS多晶硅纳米膜压力传感器过载能力设计的方法.采用厚度为80 nm多晶硅薄膜构建感压膜片结构,利用静态大变形和接触非线性有限元分析方法,分析感压膜片触底保护的腔体高度,在此基础上,进一步得出感压膜片尺寸与过载能力的关系,并重点讨论了不同传感器量程下改变膜片尺寸对过载能力的影响.仿真结果表明,所设计的1 MPa量程MEMS多晶硅纳米膜压力传感器,其过载能力8 MPa,为传感器量程8 倍.本次研究为MEMS压力传感器的实际生产制备提供了新思路.

关键词：MEMS压力传感器、多晶硅纳米膜、过载能力、有限元分析、腔体高度

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家重点研发计划;辽宁省高等学校创新人才支持计划;高等学校基本科研项目

在线出版日期：2023-08-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：89-92,97