基于MEMS的非分光红外低硫传感器研究与设计

摘要：

二氧化硫等含硫气体的红外吸收峰在7～10μm的波段,该波段正好与人体红外的波段重合,属于敏感区域,可用于军事应用,因此发达国家对我国实行了长期的技术封锁;特别是低硫的红外检测传感器价格昂贵,因此,开发检出限接近10 mg/L的高精度低硫传感器迫在眉睫.该文以煤燃烧后的含硫气体检测为研究对象,通过设计精密的红外气室、高精密的恒温室、微弱信号处理电路以及补偿电路,采用MEMS技术,设计完成了一款高精密的非分光红外低硫集成传感器.经检测,该传感器的检出限达到近10 mg/L.低硫测量平均值为0.382％,标准差(SD)为0.006％,相对标准偏差(RSD)为1.2％,瓶内相对标准偏差(RSD)为0.9％.实现了低硫的高精密测试.

关键词：MEMS系统、红外吸收、低硫传感器、微弱信号处理

分类号：TP334.3(计算技术、计算机技术)

资助基金：湖南省自然科学基金NDIR;2022JJ60008

在线出版日期：2022-06-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：3-7