基于DSP的直流磁控溅射电源设计

摘要：

该文通过研究磁控靶工作时的负载特性,设计了以全桥逆变开关电源技术为基础的高效、大功率磁控溅射电源.利用Matlab搭建的模型对电路的参数、输出波形进行了仿真,在仿真的基础上完成了主回路、控制电路硬件及软件程序的设计及样机测试,并在JTP-1400型磁控溅射镀膜机上进行了实验.实验结果证实该电源具有恒流控制效果好,电流截止负反馈反应迅速,工作稳定等优点.

关键词：磁控镀膜、开关电源、仿真、DSP

分类号：TP273;TB43(自动化技术及设备)

资助基金：中央高校基本科研业务费专项资金项目31920130013

在线出版日期：2017-05-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：47-49