10.3969/j.issn.1000-0682.2015.02.009
重力式芯片处理机温度控制技术研究
重力式芯片处理机温度控制过程中,由于被控对象数学模型的不确定性,运用常规PID控制存在着调节时间长、易超调和超调后冷却时间长的问题。采用系统辨识的方法确定被控对象的传递函数,在此基础上,运用了一种分段PID的方法有效地抑制了温度的超调,并减小了调节时间。仿真和实验证明了该方法的有效性,能满足重力式芯片处理机的工艺要求,同时提高了生产效率。
重力式芯片处理机、温度控制、分段PID
TP273(自动化技术及设备)
2015-05-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
36-38,48