基于单片机的磁控溅射稳压开关电源设计

摘要：

磁控溅射真空镀膜技术与传统的化学电镀技术相比，具有环保、降耗、减排等优点，磁控电源是这种镀膜装置的关键部件之一。该文研究和设计了以高频开关电源技术为基础的高效率、大功率磁控稳压电源。文中介绍了主电路、控制电路的原理设计，用Matlab仿真软件搭建了电路模型，并进行了仿真实验，在此基础上完成了硬件电路、软件程序设计。通过AT89 C51单片机实现了在不同工作方式下电源输出电压和电流的调节。实际应用证明该电源具有恒流控制效果好，可靠性高，工作稳定等优点。

关键词：磁控溅射、开关电源、镀膜、SG3525

分类号：TP273;TB43(自动化技术及设备)

资助基金：西北民族大学中央高校基本科研业务费专项资金资助项目31920130013

在线出版日期：2014-03-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：106-108