超低速运动装置设计分析

摘要：

单晶炉提拉装置是提拉法生长晶体的关键设备,由于激光晶体生长机理决定了其生长速度非常缓慢.提拉装置要求长期运行在超低速的状态下,针对运动系统的震动、晃动、摩擦、爬行等都会影响速度的稳定性,采用交流伺服技术对激光单晶炉的提拉装置进行了全新改造设计,并对其精度进行了综合分析.通过采用变增益的PID控制方法长期运行的实验数据表明,该装置运行精度高,稳定性好,适合生长大尺寸激光晶体,同时设计采用通用零件,满足大规模工业化生产的需求.

关键词：超低速、单晶炉、提拉法、提拉装置、伺服控制

分类号：TP273(自动化技术及设备)

资助基金：北京市高校人才强教深化计划资助项目PHR200907221;北京石油化工学院教学改革项目YB200807

在线出版日期：2011-01-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：19-22