基于Modbus-TCP的晶体生长控制技术的研究

摘要：

晶体生长系统存在着时滞和非线性,系统的稳定控制非常困难.采用模糊PID控制,根据不同的偏差绝对值和偏差变化绝对值在线自整定参数KP,KI,KD.为确保生长程式的集中发布和准确执行,系统采用基于Modbus-TCP的可编程控制器,将生长工艺发送至生产设备.数据表明晶体生长稳定,等颈误差小于±0.2 mm.

关键词：Modbus-TCP、晶体生长、模糊PID

分类号：TP273(自动化技术及设备)

资助基金：北京石油化工学院青年基金项目资助0702

在线出版日期：2009-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：3-5