ECR等离子源静电探针自动监测系统

摘要：

ECR等离子源主要由电源系统、抽气系统、供气系统、真空室等设备组成,对于研究型设备,还包括测控部分.传统的测控系统对系统设备大多采用单台测控,人工调节,这样系统效率比较低.该文采用模拟开关切换8路静电探针得到不同位置的等离子体参数,经电荷放大器对弱信号进行放大后显示.该方法在实际使用中取得了较好的效果.

关键词：电荷放大器、ECR等离子源、静电探针

分类号：TP216(自动化技术及设备)

在线出版日期：2005-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：49-50