新型多功能膜/基结合力测定仪的研制

摘要：

采用改进划痕法原理及切向力检测临界载荷方法,研制了一种新型多功能膜/基结合力测定仪.该仪器结构新颖,实用简便,不仅能测定金属膜层与基体的结合强度,还能对金属膜层进行模拟单颗粒磨损试验.试验表明,该仪器具有较高的可靠性.

关键词：仪器、膜/基结合力、测定

分类号：TH87

在线出版日期：2003-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：59-60,10