基于超声波清洗技术的太阳能多晶硅片清洗装置设计

摘要：

基于超声波清洗技术设计了太阳能多晶硅片清洗装置,并通过实验进行了效果验证,结果表明,超声波清洗装置可高效清洗干净多晶硅片表面污染物,色泽光亮均衡统一,效果显著;清洗前,多晶硅片平均接触角较大,表面疏水性过强,清洗后,平均接触角显著下降,说明基于超声波作用,可有效清洗疏水性污染物,且符合多晶硅片清洗洁净要求;随超声波功率增加,清洗后多晶硅片表面接触角呈现为先逐渐缩小,后有所增大的趋势;超声波清洗装置清洗硅片,可获得更微小的表面粗糙度;清洗后硅片表面只包含硅原子,并未观察发现其他杂质元素污染,表面十分洁净.总之,太阳能多晶硅片超声波清洗装置,操作简洁便捷,清洗效果显著,清洗时间短暂,成本相对偏低,节能环保,环境污染较小.

关键词：超声波清洗技术、太阳能、多晶硅片、清洗装置

所属期刊栏目：50

分类号：TK511(特殊热能及其机械)

资助基金：科技计划K201903

在线出版日期：2021-07-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：56-58