多晶硅真空定向凝固系统的结构特性优化研究

摘要：

采用非稳态集中参数法分别计算了沿轴向和径向增加装料量对多晶硅定向凝固过程中加热时间的影响,并通过数值模拟对比分析了多晶硅定向凝固过程中晶体生长时的温度场、熔体流动、固-液界面形状和应力大小及分布等情况.并对装料沿径向增加以提高单炉生产率的方案提出了添加硅料表面上加热器的优化措施,不仅可以显著缩短加热时间,还能减小硅料的径向温度梯度,调节固-液界面形状.这将为大型化多晶硅真空定向凝固设备的优化设计与开发利用提供理论基础.

关键词：定向凝固、多晶硅、热应力、传热、数值模拟

所属期刊栏目：46

分类号：TG146.2(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金51466005;联合基金U1137601

在线出版日期：2017-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：46-51,57