基于在线测量的多腔体零件批次容积波动控制方法

摘要：

Run-to-run控制方法是批量产品生产质量控制的最重要和最有效的方法之一,现有的批次控制方法存在不能充分利用批次全部数据的问题.因此,本文提出了一种基于在线测量的多腔体零件批次容积波动控制方法.首先,建立多零件(一个批次)的单输入单输出(MSISO)过程模型,并提出MSISO double exponentially weighted moving average (d-EWMA)控制器,基于在线测量得到每个批次零件的所有数据来更新下一批次零件的控制律.然后,对所提出的MSISO d-EW-MA控制器进行稳定性分析,得到使控制过程渐近稳定的充分条件.案例研究的结果表明:与其他基于run-to-run控制方法相比,所提方法可以有效地提高控制性能.

关键词：批次控制、在线测量、double EWMA控制器

所属期刊栏目：25

分类号：TP391(计算技术、计算机技术)

资助基金：上海市科委重大项目17DZ1101202

在线出版日期：2020-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：153-160,170