基于光学偏折的微小透镜双曲面同步测量

摘要：

针对自由曲面微小透镜检测中无法同时高精度检测前后表面的问题,提出一种基于光学偏折的微小透镜前后曲面同步测量方法.该方法基于高精度的透射波前检测系统建立理想光线追迹模型,并在利用光学偏折高精度测得的含有被测微小透镜面形信息的透射波前像差基础上,以被测微小透镜的前后两个曲面为优化变量,进行数值迭代优化求解,最终基于优化结果重构出被测微小透镜各表面面形误差.对所提出的面形测量方法进行仿真与实验验证,并通过Zygo干涉仪进行比对实验,结果显示对于口径为6 mm的微小透镜,所提方法的检测结果与比对实验的检测结果高度一致,面形偏差的均方根误差值仅为几十纳米.

关键词：测量、透射元件、自由曲面面形检测、光学偏折技术、微小透镜

所属期刊栏目：43

分类号：TH742(仪器、仪表)

在线出版日期：2023-07-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：135-143