真空紫外193 nm波段固体激光器研究进展综述

摘要：

综述了真空紫外193 nm波段固体激光光源的发展情况,具体包括所涉及到的主要非线性晶体[偏硼酸钡(BBO)晶体、三硼酸锂(LBO)晶体、六硼酸铯锂(CLBO)晶体、氟代硼铍酸钾(KBBF)晶体等]的各类特性及其对比分析、近几十年来193 nm波段连续固体激光和脉冲固体激光的发展脉络、用于产生193 nm固体激光的各种基频光源组合,并对它们的优劣势进行了分类分析和对比.对影响非线性晶体紫外透过率和紫外激光输出功率的双光子吸收效应进行了描述,并对深紫外激光器中的激光诱导污染效应进行了描述,指出几类常用的避免或者缓解该效应的方法.最后对实现超高重复频率准连续真空紫外激光的难度和应当解决的问题进行了探讨.

关键词：深紫外、固体激光、真空紫外、非线性晶体、双光子吸收、激光诱导污染

所属期刊栏目：42

分类号：TN248(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;山东省自然科学基金;中国科学院空天信息创新研究院;中国科学院空天信息创新研究院;山东大学齐鲁青年学者启动基金

在线出版日期：2022-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共15页

页码：152-166