"真空紫外与X射线光学"专题前言

摘要：

真空紫外到X射线是电磁波谱中波长比较短的部分,包含真空紫外、远紫外、极紫外、软X射线和硬X射线.这一波段的光波长短、能量大,按照锐利判据,由其构成的光学系统可以实现更精细的聚焦和成像.工作波长为13.5 nm的极紫外光刻已成为生产10 nm以下线宽集成电路的主流生产手段,推动了半导体行业的持续进步.基于X射线的聚焦成像系统已能获得几纳米的分辨率,实现了物质微观结构的精密观测.同时,这一波段的光子能量范围覆盖了几乎所有元素的价电子和芯能级轨道,具有精确分辨材料成分、价态和局域电子结构的能力.

机标关键词：x射线光学、真空紫外

所属期刊栏目：42

分类号：O434.1;TH744.15;TN143

在线出版日期：2022-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

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