水平腔面发射DFB激光器光栅调控出光特性研究

摘要：

以面发射分布反馈(SE-DFB)半导体激光器为研究对象,基于耦合模理论,通过耦合系数表征器件的出光特性,研究二阶光栅对器件出光特性的调控作用.使用时域有限差分法(FDTD)进行光栅的结构仿真和参数优化,在器件衬底部位引入分布布拉格反射镜(DBR)协同光栅调控出光特性,以980 nm波段半导体激光器为例,重点研究DFB光栅占空比、DFB光栅周期长度、DFB光栅刻蚀深度、DFB光栅倾角、DBR反射镜占空比、DBR反射镜材料折射率、DBR反射镜周期介质层数对光栅耦合系数的综合影响,得到优化的光栅参数,为后续器件设计与制备提供理论依据.

关键词：激光器、半导体激光器、耦合系数、表面发射、布拉格光栅

所属期刊栏目：42

分类号：TN248.4(光电子技术、激光技术)

资助基金：吉林省科技发展计划项目20190302052GX

在线出版日期：2022-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：146-153